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The μROBOTEX platform

µROBOTEX est une plateforme technologique consacrée à la caractérisation, la manipulation et à l'assemblage de micro et nanosystèmes dont les dimensions sont inférieures à 10µm.

Située à l'ENSMM à Besançon, la plateforme µROBOTEX est opérationnelle depuis 2014 et gérée par le département AS2M de l'Institut FEMTO-ST. La plateforme héberge des dispositifs variés de microscopie optiques et électroniques, des microrobots 6 axes, des interféromètres laser et des capteurs de micro et nano-forces.  μROBOTEX est notamment équipée d'un MEB (microscope électronique à balayage) doté d'une colonne FIB (gravure), d'un système d'injection de gaz (dépôt CVD) et de micromanipulateurs dans la chambre totalisant 15 axes.

L'objectif de μROBOTEX est de fournir aux chercheurs en micro et nanotechnologies des instruments scientifiques de niveau international.  Associant la connaissance des microsystèmes, des phénomènes physiques et chimiques à l'échelle nanométrique, à la robotique et à l'automatique, la plateforme μROBOTEX offre un environnement unique pour l'automatisation du micro-assemblage et pour la caractérisation des micro et nanosystèmes.  L'accès à la plateforme est ouvert aux universitaires et aux partenaires industriels pour leurs développements et pour leurs projets de recherche.

Cette plateforme a été financée dans le cadre des investissements d’avenir (PIA) et par la région Bourgogne Franche-Comté.  μROBOTEX fait partie du réseau national de plates-formes expérimentales de robotique ROBOTEX qui constitue un « équipement d’excellence » (ANR-10-EQPX-44-01).

 

Coordinateur : Guillaume Laurent

Equipe de gestion : Joël Abadie, Joël Agnus, Sounkalo Dembélé, Olivier Lehmann, Jean-Yves Rauch, Patrick Rougeot