Réalisations


Micro-maison de 10x20 µm réalisée par pliage et assemblage d'élements découpés
dans une micro-membrane de silice de 0.7µm d'épaisseur. La solidarisation des éléments et la
cheminée ont été obtenues par dépôt de naphtalène. La micro-maison est fixée au
bout d'une fibre optique de 80 µm de diamètre et a été réalisée pour Micronora 2016 afin de
démontrer les possibilités de la plateforme.

 

 
Assemblage d'une pointe type AFM à haut facteur de forme (50 µm de long et 7 µm de
diamètre) au bout d'une poutre de silicium.

 


Manipulation de composants micrométriques

 

Mesure de raideur d'une structure flexible réalisée en nano impression 3D

 


Identification et reconstruction 3D de pollens