Associant la connaissance des phénomènes physiques et chimiques à l'échelle nanométrique, à la robotique et à l'automatique, le centre de micro et nanorobotique offre un environnement unique pour la manipulation et l'assemblage de micro et nanosystèmes.
Compétences & savoir-faire
- Imagerie haute résolution (1 nm à 15 kV) par faisceau d'électrons (SEM)
- Gravure et dépôt CVD par faisceau d’ions (FIB)
- Assemblage 3D de micro/nano systèmes <100µm
- Fabrication de microsystèmes par origami
- Reconstruction visuelle 3D non destructive de micro/nano objets
- Caractérisation in situ par différents moyens de mesure (micro-pinces instrumentées, capteurs de force, interféromètre laser, mesure de faibles courants)
Équipements
- Microscope électronique à balayage ZEISS AURIGA 60, colonne GEMINI
- Faisceau d'ions ORSAY PHYSICS (FIB)
- Injecteur de gaz OXFORD INSTRUMENTS (dépôt CVD)
- Micro-manipulateur SMARACT 6 ddl
- Micro-manipulateur KLEINDIEK 3 ddl
- Porte-échantillon ZEISS 5 ddl
- Micro-pinces et capteurs de force FEMTO-TOOLS
- Interféromètre laser compatible vide
- Électromètre KEYSIGHT TECHNOLOGIES B2987A
- Métalliseur PVD LEICA EM 220 (or, platine)
Réalisations
Micro-maison de 10x20 µm réalisée par pliage et assemblage d’éléments découpés
dans une micro-membrane de silice de 0.7µm d'épaisseur.
Assemblage d'une pointe type AFM à haut facteur de forme (50 µm de long et 7 µm de
diamètre) au bout d'une poutre de silicium.
Manipulation de composants micrométriques
Mesure de raideur d'une structure flexible réalisée en nano impression 3D
Contact
Jean-Yves Rauch jyves.rauch [at] femto-st.fr
Cédric Clévy cedric.clevy [at] femto-st.fr