Nano-manipulation

Associant la connaissance des phénomènes physiques et chimiques à l'échelle nanométrique, à la robotique et à l'automatique, le centre de micro et nanorobotique offre un environnement unique pour la manipulation et l'assemblage de micro et nanosystèmes.

Compétences & savoir-faire

  • Imagerie haute résolution (1 nm à 15 kV) par faisceau d'électrons (SEM)
  • Gravure et dépôt CVD par faisceau d’ions (FIB)
  • Assemblage 3D de micro/nano systèmes <100µm
  • Fabrication de microsystèmes par origami
  • Reconstruction visuelle 3D non destructive de micro/nano objets
  • Caractérisation in situ par différents moyens de mesure (micro-pinces instrumentées, capteurs de force, interféromètre laser, mesure de faibles courants)

Équipements

  • Microscope électronique à balayage ZEISS AURIGA 60, colonne GEMINI
  • Faisceau d'ions ORSAY PHYSICS (FIB)
  • Injecteur de gaz OXFORD INSTRUMENTS (dépôt CVD)
  • Micro-manipulateur SMARACT 6 ddl
  • Micro-manipulateur KLEINDIEK 3 ddl
  • Porte-échantillon ZEISS 5 ddl
  • Micro-pinces et capteurs de force FEMTO-TOOLS
  • Interféromètre laser compatible vide
  • Électromètre KEYSIGHT TECHNOLOGIES B2987A
  • Métalliseur PVD LEICA EM 220 (or, platine)

Réalisations


Micro-maison de 10x20 µm réalisée par pliage et assemblage d’éléments découpés
dans une micro-membrane de silice de 0.7µm d'épaisseur.

 
Assemblage d'une pointe type AFM à haut facteur de forme (50 µm de long et 7 µm de
diamètre) au bout d'une poutre de silicium.

 


Manipulation de composants micrométriques

 


Mesure de raideur d'une structure flexible réalisée en nano impression 3D

Contact

Jean-Yves Rauch jyves.rauch [at] femto-st.fr

Cédric Clévy cedric.clevy [at] femto-st.fr